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多通道霍尔测试系统HSMC-10

多通道霍尔测试系统HSMC-10

HSMC-10多通道霍尔测试系统能够为多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和大型晶圆片提供一个变磁的环境。测试温度:室温或者77K液氮低温,矩阵开关实现测试电极之间自由切换、选择,适用于多电极样品,有0.1T ~ 1T宽范围磁场调节区间、快速零磁场控制功能。

多通道霍尔测试系统HSMC-10产品概述

HSMC-10多通道霍尔测试系统能够为多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和大型晶圆片提供一个变磁的环境。系统有77K液氮单点选件,提供样品在77K低温下完成霍尔效应测量。搭配霍尔测试仪,能够准确测得低迁移率材料的电学性能可在电磁场、液氮低温环境(77K)下,对多种类型样品进行快速自动化测试,以获取样品的霍尔参数,包含待测样品的电阻率、霍尔电压、霍尔系数、载流子浓度、霍尔迁移率和载流子类型等,填补传统的霍尔测试仪器只能测量制备成型后样品的空白。


系统特点:
• 具有行业先进的快速霍尔效应测试功能和数据分析功能,大大降低测量时间;
• 矩阵开关实现测试电极之间自由切换、选择,适用于多电极样品;
• 可定制电磁铁能够实现大磁场均匀区,适用于大样品;
• 具有24电极自动选择、切换测试和数据分析功能;
• 具有0.1T ~ 1T宽范围磁场调节区间、快速零磁场控制功能;
• 具有自动进样功能,可支持重达1kg待测样品自动化进样;
• 具有丰富样品测试支架可选,可测圆柱型晶锭、D型晶锭、晶圆片(2寸、4寸和6寸)等各形各尺寸样品;
• 具有数据采集、整理、分析、输出功能,同时具备报告定制和导出功能;
• 具有系统可扩展性,升级后最多可支持32电极自动切换测试。
• 测试温度:室温或者77K液氮低温; 



多通道霍尔测试系统HSMC-10技术参数

参数和指标:

测量参数
待测样品尺寸 
支持6寸或更大,兼容4寸和2寸
迁移率
0.01~1×106cm2/Vs
标配电阻测量范围
10mΩ ~ 10MΩ
低温温区 77K
霍尔测试最小R2
0.9999
矩阵开关参数
开关类型
EMR
通道
共(4Bank×16CH/Bank)通道:4组,每组1切16
切换时间(Typ)
6ms
开关承载电压
300VDC/250VAC
开关承载电流
切换电流/持续电流:1A,脉冲电流:6A@100ms
样品类型
圆柱型晶锭
圆柱型晶锭为圆柱体或者类圆柱体,晶锭上可有多个电极
D型晶锭
沿圆柱型晶锭轴线对半剖开所得,晶锭上可有多个电极
晶圆片
2寸、4寸和6寸样品
电磁铁
磁场范围
0.1T~1T@50A(Φ300mm极面,固定气隙75mm中心)
磁场步长10Gs
磁场均匀度

75mm气隙中心磁场优于1.0T@50A(φ300mm极面)工作时间30min

均匀区Φ150*30mm,均匀度 1%

均匀区Φ200*50mm,均匀度 5%

1%@(30*Φ150mm),5%@(50*Φ200mm),重量:2337KG

电磁铁电源
输出功率
10 kW @ AC 380 V ±10%(50 ~60 Hz)
输出电流
50 A
重量
30 kg
二维步进电机
水平X行程
400mm
垂直Z行程(带刹车)
700mm
77K液氮单点系统
液氮容积
约3.38L
恒温器内尺寸(mm)
190*54*33
测试温度
室温和77K液氮单点

可选配件