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HX12N系列半自动探针台

HX12N系列半自动探针台

HX12N系列半自动探针台配置高精度的直线电机滑台模组,行程满足8英寸、12英寸芯片的测试。定位精度高,反应速度快以及使用寿命长等优势,滑台同时配备了高精度的光栅反馈系统,保证了运行精度的可靠性,并且该模组为本公司自研产品,保证了模组的成品质量和生产周期,为探针台的测试提供了又快又准的硬件保障。

HX12N系列半自动探针台产品概述

HX12N系列半自动探针台配置高精度的直线电机滑台模组,行程满足8英寸、12英寸芯片的测试。定位精度高,反应速度快以及使用寿命长等优势,滑台同时配备了高精度的光栅反馈系统,保证了运行精度的可靠性,并且该模组为本公司自研产品,保证了模组的成品质量和生产周期,为探针台的测试提供了又快又准的硬件保障。


软件功能介绍
• 可测试圆片,测试范围可选,支持隔行抽测和环形测试,MAP图可以编辑测试;
• 支持坏点重测;
• 具备离线打点、同步打点功能;
• 具备接触缓冲功能,针痕稳定;
• 运行精度补偿功能,保证测试的稳定性;
• 测试良率、总数、速度显示;
• CCD图像自动对准和定位;
• 设备具备一定的抗干扰能力,支持高低温测试,运行稳定;
• 多BIN分类测试,测试数据可以存储,可以导出,兼容后道设备格式使用,具有数据统计分析功能;
• 操作员,管理员,系统厂家权限管理功能

HX12N系列半自动探针台技术参数

参数和指标:

性能名称
技术指标
可测片径
8″、12″
XY工作台
结构
直线电机
行程
230mm × 220mm,分辨率:1μm
速度
>200mm/s
定位精度
≤±2μm
承片台
Z向行程
10mm,分辨率:1μm
Z台精度
≤±1μm
Z向分辨率
≤±0.5μm
θ向调节范围
±25°
θ向分辨率
0.006°
显微镜/视频显示系统
双目体视显微镜/可选配三目显微镜及CCD实时视频显示装置
控温范围
-45℃~150 ℃
温度设置分辨率
0.1 ℃
温度均匀性
-45°C 至 +150°C < ±1 °C,>150 °C < ±1 %

可选配件

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